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精密加工是在20世纪60年代为适应核能、大规模集成电路、激光、航天等顶尖技术需要而发展起来的精度很高的一种加工技术。到了80年代初期,较高的加工尺寸已经可以达到10纳米级,其表面粗糙度达到1纳米。而加工的较小尺寸可达到1微米,正在向纳米级加工尺寸的精度目标前行。
纳米级的精密加工也被称为纳米工艺。精密加工时处于发展中的跨学科综合技术。
在20世纪80年代到50世纪80年代,为精密加工技术的开创期。在20世纪50年代末,基于航天、国防等顶端技术发展的需要,美国开始开展精密加工技术,并研发了金刚石刀具精密切削机械,主要被用于加工激光核聚变反射镜,战术导弹以及载人飞船用球面、非球面等大型零件中。